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電子氣體	三氟化氮\|四氯化硅\|三氟化硼氣體 BF3\|高純氯化氫氣體\|四氟化碳\|高純氯氣\|三氟甲烷\|高純硅烷\|氨氣（液氨）
同位素氣體	甲烷C13\|二氧化碳C13\|13C同位素\|稀有氣體同位素\|氦3氣體\|氘氣\|氧18的同位素\|N15同位素\|D同位素\|金屬同位素\|NMR同位素\|氖-20同位素氣\|重氧水（氧-18同位素）\|二氧化碳-18O同位素CO2\|氧-17同位素17O2\|氖-22同位素氣體\|乙炔-D2同位素氘代乙炔
稀有氣體	氖氣\|氙氣\|氪氣