中文名：四氟化碳

英文名：Carbon tetrafluoride

化學(xué)式：CF4

分子量：88

CAS登錄號：75-73-0

包裝規(guī)格：4L8L鋁合金瓶；40Liter GB鋼瓶包裝；或按照其他規(guī)格氣瓶充裝。

主要用途：1.用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝，也用作激光氣體，用于低溫制冷劑、溶劑、潤滑劑、絕緣材料、紅外檢波管的冷卻劑。

2.是微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，四氟甲烷高純氣及四氟甲烷高純氣、高純氧的混合氣，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、泄漏檢驗、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。

3.用作低溫制冷劑及集成電路的等離子干法蝕刻技術(shù)